松山湖资料实验室获得薄膜应力测量方法专利
国家知识产权局信息数据显现，松山湖资料实验室获得一项名为“薄膜应力的测量方法、设备、计算机设备和可读介质”的专利，授权公告号CN116698584B，请求日期为2023年5月。
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